台湾の大手OSATが先進的半導体製造向けのゼータ・インスツルメンツ製計測システムを採用

米国カリフォルニア州サンノゼ--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- ゼータインスツルメンツ社は本日、台湾のOSAT（後工程受託製造）メーカーから、3台目の全自動即長システムZeta-580を受注したとアナウンスしました。OSATは2.5次元実装やFOWLP（ファンアウト型ウエハレベルパッケージ）などの先端半導体パッケージングにおける生産管理向けに採用することを決定したとのことです。 ゼータ社の特許技術であるZDotTMによる3次元光学プロファイリング技術と、それ以外の光学系の組み合わせにより、Zeta-580光学プロファイラーは他に類を見ない機能を有しております。さらに、従来は複数種類の装置で分担していた測定をこの一台に集約することが可能になり先端プロセスにおけるコストオブオーナーシップ（COO）の削減にも寄与します。 台湾OSATメーカーの工場長からは「スマートフォンなどの携帯デバイス市場からの要請で、2.5次元実装技術やFOWLPのような先端パッケージングを取り入れた高性能な半導体部品の需要が高まっている」そして「今回採用したZeta-580光学プロファイ